氧气、氮气、氩气、氢气、乙炔、丙烷等高纯气体压力管道安装、设计。

一、预制工作(在简易洁净室)在现场的焊接工作降至最低量是必需的。配管区必须在有洁净气的地方，在工作时维持风扇正常运转，于早、中、晚用O2检视器检查O2的浓度。1、 点焊点焊使用TIG焊接，点焊的点数按照下列规定。CAJON的焊机必需保证管子确实牢固，从完成的观点来看，最好不要使用手动的TIG焊接，因此点焊被省略；

2、冲吹气体(Back seal gas)使用氩气，露点-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量为零。

3、冲吹用管套连接冲吹气体管路与架设管路

4、预制程序将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀氩气冲吹(预先冲吹1分钟以上)点焊,氩气冲吹,焊接(自动焊接),氩气冲吹风(收尾冲吹1分钟以上)

5、装封完成焊接之后，在管内充满Ar气，而且用洁净的塑料纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑料纸裹起来。

二、现场工作规定1、携入材料必须置于特定的贮藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑料封套打开直到现埸要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。

2、切管切管时，使用的自动切割机或手动切管器必须是专门为半导体厂工作所设计的。切管器的刀片与管件成垂直方向，当使用自动切割机时，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一层未切断，藉以防止切割时的碎屑进入管内。

3、倒角原则上，在使用倒角机 ( TUBE SIZE用) 或锉刀 ( PIPE SIZE用) 时，小心地移开切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松驰或管子弯曲等状况发生时，这种管路是不合规定，必须重新切割及配置。当倒角时，在管的另一端必须用高洁净度的氮气冲吹(氮气要经0.02um的过滤器过滤)。

4、N2吹扫将管内的微粒冲吹出来。

5、现场焊接现埸焊接的人员必须经过高洁净度配管技术培训。即使焊接结束，也要维持小量的N2或Ar在管内冲吹以防止空气流入管内。无论如何也要想办法把管内的空气及微粒赶出来。

6、焊机电源供给电源的电压的变动，对于管路焊接的品质影响甚巨。使用自动焊接机的电源必需使用特定的整流器。容许的电压波动AC 100V±10%，AC 200V±10%，在焊接进行时电压警报器一直监视着电压，如果电压超过可容许的范围时，警报器就会发出声音。

7、工作后的清洁检视切割机的洁净度，保持机具不受油污，如果仍然看得见有油污或切割的碎屑残余，用GN2冲吹。使用的N2必须经-80℃或更低的露点，经0.02um的过滤器干燥，用肉眼检查没有任何的水汽。